第一千七百六十二章芯片制程的设备缺口 (第1/2页)
“人已经捆在隔壁审讯椅上了，陈总工他们还在三楼实验室熬夜核对晶圆良率，一点动静都没听见。”
彪子守在研究院地下室的铁门旁，手里掂着一把带血的铁钳子，冲着刚下台阶的李山河努了努嘴。
李山河没进审讯室，先推开旁边的资料间，赵刚正把从副科长身上搜出来的公文包倒在桌上，几张印着德文参数的镜头图纸散落开来。
“问清楚了，联系他的是港岛一家叫莱茵精密的皮包公司，知道咱们山河一号光刻胶量产成功，专门递来这套零点五微米制程的深紫外物镜参数，开价只要市面的一半。”
“天底下哪有掉馅饼的好事，西方巴统组织把这种高端光刻物镜列为头号禁运品，别说半价，就是拿金条去砸，正规渠道也买不回一片镜片。”
“那小子也是因为陈总工催镜头催得急，一时鬼迷心窍，对方说只要拿山河保密室里的任意三份绝密档案去换，下个月就能在公海交货。”
“把这小子和那家皮包公司的底细全转给老周的反间谍专班，顺着这条线去港岛抓人，咱们不跟这种小虾米耗时间。”
李山河拿起桌上那张德文镜头图纸，转身走上三楼的无尘实验室外间。
隔着双层观察窗，陈守仁和苏联专家伊万正围在一台老式曝光机前，两人对着放大镜下的硅片直摇头，实验室的废料桶里已经扔了大半桶刻废的晶圆。
听到外间门响，陈守仁摘下防尘口罩走了出来，眼眶熬得通红，手里还捏着半截断掉的铅笔。
“李总，您怎么半夜过来了，是不是平房区那边的百路机出什么岔子了？”
“平房区好着呢，一个月一千台不在话下，我是来看看你们这边的逻辑芯片，到底卡在哪个脖子上了。”
“还能是哪儿，咱们的山河一号光刻胶耐温性好，分辨率也够，可现在用的这台曝光机还是八十年代初的接触式老古董，镜头边缘畸变太大，刻出来的线条全糊在一块儿了！”
陈守仁把手里的笔记本摊在桌上，上面密密麻麻列着十几项光学镜头的采购指标，有好几行已经被红笔划破了纸背。
“我托以前在科学院的老同学四处打听，想要把咱们的通信芯片制程推到一微米以下，非得用高数值孔径的深紫外石英物镜不可，可日本尼康和德国蔡司全把咱们拉进黑名单了。”
“买不到现成的整机镜头，咱们自己找光学厂磨镜片行不行，国内不是有好几家老牌光学仪器厂吗？”
“我上个月就去过长春了，国内缺那种零膨胀系数的特种萤石晶体，而且没有纳米级的离子束抛光机床，靠老师傅手工研磨，磨出来的镜片根本达不到深紫外光的聚焦精度。”
伊万也扯下头套从里间走了出来，从白大褂兜里摸出扁酒壶灌了一口，用袖子擦了擦胡子上的酒水。
“李，你不用在西方
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